엠에이케이

Head Line

구분	Torch Plasma type			N2 Plasma type	Ar Plasma type	Vacuum Plasma type
처리 방식	Low Spot	Spot	Spin	Indirect	Indirect	Vacuum
제품이미지
공정 가스	N2 OR CDA			N2 + CDA	Ar + O2	공정 가스	Ar + Q2, C3F6, CF4
냉각 방식	공냉식			공냉식	공냉식	진공 챔버
처리 높이	MAX 10mm	MAX 10mm	MAX 10mm	MAX 8mm	MAX 4mm	전원장치	RF Generator 300W, 600W, 1KW,
처리 영역	MAX 6mm	MAX 15mm	MAX 80mm	MAX 2650mm (별도 사이즈 대응 가능)	MAX 2650mm (별도 사이즈 대응 가능)	MFC
처리 속도	100 ~ 300mm/sec			20 ~ 1000mm/sec	10 ~ 100mm/sec	압력
배기	상부, 하부			상부, 하부	상부, 하부	펌프
배기 용량	HRB 101MP, 100MP			HRB 300MP, 500MP, 600MP, 900MP, 1100MP	HRB 101MP, HRB 400MP, 500MP, 600MP, 900MP, 110MP, 1300MP

Power Supply Line

구분	MPPH-01	MPPH-02	MPPH-06	MPPH-010
제품이미지
사용 범위	Output Power : 1[KW] Output voltage : 10[KVp] Output frequency : 20 ~60[kHz] * 토치 및 저출력 Plasma	Output Power : 2[KW] Output voltage : 10[KVp] Output frequency : 20 ~60[kHz] * N2 Bar Plasma 사용	Output Power : 6[KW] Output voltage : 10[KVp] Output frequency : 20 ~60[kHz] * N2 Bar Plasma 사용	Output Power : 10[KW] Output voltage : 10[KVp] Output frequency : 20 ~60[kHz] * N2 Bar Plasma 사용
제품 사양	Rated Voltage : 1Ø AC 220V, 10A Control Mode : Remote, Local, Host Interface : 25PinD-sub Size : 177(H) * 257(W)* 544(D) MM Weight : 9.5kg	Rated Voltage : 1Ø AC 220V, 15A Control Mode : Remote, Local, Host Interface : 37Pin D-sub Size : 177(H) * 368(W)* 530(D) MM Weight : 16.9kg	Rated Voltage : 3Ø AC 220V, 30A Control Mode : Remote, Local, Host Interface : 37PinD-sub Size : 177(H) * 483(W)* 610(D) MM Weight : 28kg	Rated Voltage : 3Ø AC 220V, 50A Control Mode : Remote, Local, Host Interface : 37PinD-sub Size : 177(H) * 483(W)* 610(D) MM Weight : 37kg
통신	RS – 232 / RS - 485	RS – 232 / RS - 485	RS – 232 / RS - 485	RS – 232 / RS - 485

Gas UT Line & Ozone killer

구분	표준형	맞춤형	Ozone Killer
내용	CDA , N2 구성품 선택	CDA , N2 구성품 선택	Plasma 구동시 발생하는 오존을 통과시켜 배출 Ozone을 90%이상 절감시켜주는 장치
측정품	Flow switch : Air, N2, Sol V/V	Flow swithch : Air, N2, Sol V/V,	통과 전 : 1.5ppm	통과 후 : 0.03ppm
이미지
			30 Sec 단위로, 오존 변화량 자동 측정

Exhaustion Line