엠에이케이

탄탄한 포트폴리오를 구성하다

친환경 에너지 시대에 더 나은 세상을 위해 다양한 솔루션 사업을 전개하며 미래 에너지 산업을 리드합니다.

• 카탈로그
  N2 Plasma

  N2 Plasma
  1[kW] ~ 10[kW]
  Power Controller

  Glass size section
  20mm ~ 2500mm

  

  Ar Plasma

  Ar Plasma
  300[W] ~ 6[kW]
  Power Controller

  Glass size section
  20mm ~ 2500mm

  
• 카탈로그
  Torch Plasma

  Torch Plasma
  500[W] ~ 1[kW]
  Power Controller

  Glass size section
  1mm ~ 10mm

  
• 카탈로그
  Vacuum Plasma

  In Hopper MLCC
  1Barrel 1kg
  Max 10kg - 25min

  Out Tray MLCC
  Tray max 16Ea 24kg

  
• 카탈로그
  USC

  USC (Dry Cleaner)
  Hepa-Filter
  Pre-Filter
  Blower Controller

  Glass size section
  10mm ~ 2500mm

  

주요 거래 업체

Plasma의 활용 사례

산업용 플라즈마의 응용분야

• LCD, PDP, OLED, Flexible Display 박막 제조공정 (전극, 절연막, 투명전도막)
• 반도체 소자 제조공정 (Wafer, 금속배선막 / 절연막, Etching)
• 광학 박막 제조공정, 기능성 코팅 (보호막, 장식)
• 기계/전자/가공 부품의 표면처리 (내마모, 내식, 내환경, 내윤활)
• 유기오염물 제거 등의 Cleaning

Plasma의 원리

물질의 통상적인 3가지 형태는 고체,액체,기체이다. 플라즈마는 제4의 물질형태이다

플라즈마 상태는 다른 물질 상태와 달리 전기를 띤 입자로 구성된 전리상태이다.

이 상태의 입자는 불안정한 상태에 있어 주변 분자와 끊임없이 반응하여 표면유기물을 제거하는 효과를 낼수있다.

카본 성분 제거 후 잔류OH기에 의해 표면 친수성 상승.

결국 합착 효과를 높이도 표면의 개질 작용을 한다.

- 사용 측정기 -

- 측정 화면 -